Las deflexiones de sensor se miden mediante transductores diferenciales variables y lineales (LVDT) de alta resolución. El LSP-S4 es compatible con todos los modos de sondeo estándar como palpado punto a punto, auto-centrado, así como escaneo de alta velocidad continuo para mediciones rápidas y precisas de formas y perfiles.
Como todos los demás cabezales sensores de Leitz, el LSP-S4 permite el palpado simultáneo y sin sujeción en todos los ejes, siempre ortogonalmente a la superficie. Esto permite la compensación correcta de cualquier deflexión de punta de palpado.